薄膜在基片上的附著性能決定了薄膜應用的可能性和可靠性。附著的定義為:薄膜與基片保持接觸，兩者的原子互相受到對方的吸附作用的狀態。把單位面積的薄膜從基片上準靜態地剝離下來所需的力為附著力，所需要的能量為附著能。